Daniel Bernoulli svájci tudós már 1738-ban az első Bernoulli-egyenleten- alapuló nyomáskülönbségi módszert- használta a vízáramlás mérésére. Később az olasz GB Venturi megvizsgálta a Venturi-cső áramlásmérésre való használatát, és 1791-ben publikálta eredményeit.
1886-ban az amerikai Clemens Herschel a Venturi-cső elvét alkalmazta egy praktikus vízáramlás mérésére szolgáló eszköz létrehozására.
A XX. század elejétől a 20. század közepéig fokozatosan érlelődnek a kialakult mérési elvek; A kutatók már nem korlátozták gondolkodásukat a meglévő módszerekre, hanem új kutatási utakra indultak.
Az 1930-as évekre kezdtek megjelenni a folyadékok és gázok áramlási sebességének akusztikus hullámokkal történő mérésére szolgáló módszerek. A második világháború előtt azonban alig történt jelentős előrelépés ezen a területen; Csak 1955-ben vezették be a Maxson áramlásmérőt,-amely az akusztikus cirkulációs módszert alkalmazta-a repülőgép-üzemanyag-áramlás mérésére.
Az 1960-as évektől kezdődően az áramlásmérő műszerek a nagyobb pontosság és a miniatürizálás irányába fejlődtek.
Az integrált áramköri technológia gyors fejlődésével a fázis-zárolt hurok technológiát alkalmazó ultrahangos áramlásmérők széles körben elterjedtek. Továbbá a mikroszámítógépek kiterjedt alkalmazása jelentősen javította az áramlásmérési képességeket; például a mikroszámítógépek lézer Doppler sebességmérőkbe való integrálása lehetővé tette bonyolultabb jelek feldolgozását.